超微細な立体回路に成功

産業技術総合研究所（茨城県つくば市）の畠賢治チーム長らがカーボンナノチューブで潮微細な立体回路を作ることに成功しました。
シリコンの基板上に約８００度に熱したガス状の炭素を吹き付けてナノチューブを合成し、それらを半導体加工に使う技術を応用して加工したようです。その結果、１万分の１ミリ・メートルほどの極細の配線や立体的な構造を作ることが可能になり、集積回路の小型化や高感度センサーの開発などに弾みがつくと期待されています。